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文档序号:40501025

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本发明涉及一种显微镜方法,其中将激发辐射(AS)的聚焦光束导向待检查对象(7)的检查位置(17),在对象(7)中产生激发体积。概观图像用于识别对象(7)的至少一个结构(15)并且将所识别的结构(15)中的至少一个定义为参考结构(16)。定义...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。

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