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本公开可以包括一种用于校准射频等离子体处理设备中的匹配网络中的电容器的方法，该方法包括。该方法可以包括识别匹配网络中的电容器，测量整个匹配网络的阻抗，以及将电容器从零步长值驱动到预定义步长值。该方法还可以包括测量零步长值和预定义步长值之间的...
该专利属于科米特技术美国股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科米特技术美国股份有限公司授权不得商用。

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