下载体声波谐振器、滤波器及射频前端模组的技术资料

文档序号:40494447

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本申请提供一种体声波谐振器,包括:衬底、下电极、压电层以及上电极,衬底具有第一表面,下电极设于第一表面,且衬底和下电极之间具有声学镜,其中,上电极、下电极、压电层以及声学镜之间相互重叠的区域为有效区域,有效区域包括中间区域、凹陷区域、过渡区...
该专利属于锐石创芯(重庆)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过锐石创芯(重庆)科技有限公司授权不得商用。

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