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本发明提供一种即使在使腔室内的臭氧浓度降低而进行了工件的处理的情况下，也能够稳定且均质地进行处理的光处理装置。具备：搬送机构，搬送工件，具有多个搬送辊；主腔室，具有第一搬入口和第一搬出口；分隔部件，在主腔室内，在与工件的搬送方向和搬送辊的旋...
该专利属于优志旺电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。

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