下载一种新型石英坩埚的技术资料

文档序号:40490264

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本发明公开了一种新型石英坩埚,包括用于CZ法长晶的石英坩埚锅体和位于锅体内的用于长晶的硅熔汤,所述锅体内放置有晶种棒;所述锅体包括锅底和锅底上的锅壁,所述锅壁围绕锅底设置且与锅底一体成型,所述锅壁呈上小下大的圆套状设置。通过在锅底上一体成型...
该专利属于上海合晶硅材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海合晶硅材料股份有限公司授权不得商用。

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