下载一种端面耦合器件的技术资料

文档序号:40489638

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本公开提供一种端面耦合器件,包括:衬底;位于所述衬底上的端面耦合结构;至少部分覆盖所述端面耦合结构的包覆层;其中,所述端面耦合结构中至少包括:光斑放大波导和过渡波导;所述光斑放大波导,由锥形波导队列组成;所述锥形波导队列是由多个锥形波导构成...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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