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本申请的实施例提供了一种微机电器件的制备方法、及微机电器件，所述方法包括：提供衬底基板，所述衬底基板上设置有金属层，所述金属层上沿远离所述衬底基板的方向依次设置有待刻蚀层和光刻胶层；对所述光刻胶层进行图形化处理，以在所述光刻胶层形成所需图形...
该专利属于赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司授权不得商用。

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