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本发明提供一种在位精密检测微光学元件结构面型的方法，包括：将白光干涉仪放置于机床的第一旋转轴上，将工件放置于机床的第二旋转轴上；调整白光干涉仪镜头光轴与机床第二旋转轴中心重合；对工件进行加工，保持工件在第二旋转轴上的位置不发生变化；白光干涉...
该专利属于中国科学院重庆绿色智能技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院重庆绿色智能技术研究院授权不得商用。

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