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本技术公开了一种靶泵一体的旋转阴极设备，涉及真空镀膜技术领域，包括设备箱、盖板、靶材装置和多个真空泵，设备箱的内部设有腔室；盖板设置于设备箱内，并将腔室分隔为上腔室和下腔室；靶材装置设置于下腔室；真空泵设置于盖板，且真空泵的排气端位于上腔室...
该专利属于东莞南玻智能装备制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞南玻智能装备制造有限公司授权不得商用。

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