一种靶泵一体的旋转阴极设备制造技术

本技术公开了一种靶泵一体的旋转阴极设备，涉及真空镀膜技术领域，包括设备箱、盖板、靶材装置和多个真空泵，设备箱的内部设有腔室；盖板设置于设备箱内，并将腔室分隔为上腔室和下腔室；靶材装置设置于下腔室；真空泵设置于盖板，且真空泵的排气端位于上腔室，真空泵的抽空端穿过盖板与下腔室连通。本技术的靶泵一体的旋转阴极设备，阴极结构和抽真空结构集成度更高，非必要抽真空区域小，成本低，能耗低。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜，特别涉及一种靶泵一体的旋转阴极设备。

技术介绍

1、在真空磁控溅射镀膜设备中，核心部件是阴极结构和抽真空结构。现有设备中阴极结构设置在一个设备内，抽真空结构设置在另一个设备内，两设备再进行连通，使抽真空结构能够将阴极结构所处的腔室抽真空达到低压环境。

2、两独立设备进行连通，连通部位必然随之抽真空，实际上，有效抽真空区域为阴极结构所处区域，其余区域均为不可避免的非必要抽真空区域。当非必要抽真空区域较大时，阴极结构所处区域为获得稳定的低压环境，需要更多的抽真空装置，而抽真空装置增多，整个设备体积亦增大，设备成本居高不下，且更多的抽真空装置也会消耗更多的能源。

技术实现思路

1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种靶泵一体的旋转阴极设备，阴极结构和抽真空结构集成度更高，非必要抽真空区域小，成本低，能耗低。

2、根据本技术实施例的靶泵一体的旋转阴极设备，包括：设备箱，所述设备箱的内部设有腔室；

3、盖板，所述盖板设置于所述设备箱本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种靶泵一体的旋转阴极设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的靶泵一体的旋转阴极设备，其特征在于：所述设备箱(100)包括上箱体(110)和下箱体(120)，所述盖板(200)设置在所述上箱体(110)和所述下箱体(120)之间，所述上箱体(110)和所述盖板(200)围设出所述上腔室(101)，所述下箱体(120)和所述盖板(200)围设出所述下腔室(102)，所述下箱体(120)和所述盖板(200)之间可拆卸。

3.根据权利要求1所述的靶泵一体的旋转阴极设备，其特征在于：所述靶材装置(300)包括一对端头(310)和靶棒(320)，两所述端头(3...

【技术特征摘要】

1.一种靶泵一体的旋转阴极设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的靶泵一体的旋转阴极设备，其特征在于：所述设备箱(100)包括上箱体(110)和下箱体(120)，所述盖板(200)设置在所述上箱体(110)和所述下箱体(120)之间，所述上箱体(110)和所述盖板(200)围设出所述上腔室(101)，所述下箱体(120)和所述盖板(200)围设出所述下腔室(102)，所述下箱体(120)和所述盖板(200)之间可拆卸。

3.根据权利要求1所述的靶泵一体的旋转阴极设备，其特征在于：所述靶材装置(300)包括一对端头(310)和靶棒(320)，两所述端头(310)沿所述盖板(200)的长度方向间隔分布，并固定于所述盖板(200)，所述靶棒(320)的两端分别连接于两所述端头(310)，所述靶棒(320)能够绕自身轴线转动。

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【专利技术属性】
技术研发人员：雷雨，肖世洪，陈海峰，
申请(专利权)人：东莞南玻智能装备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：