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本技术提供一种抛光垫周转架，包括架体及移动组件：架体包括底板、设于底板上的立柱，及间隔式设于立柱上的若干个放置板，放置板包括固定于立柱上的本体板，及滑动式设于本体板中部的滑动板，滑动板的中部设有托盘，托盘的一侧设有托架，托架包括靠近本体板一...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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