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一种药液供应装置及利用其的基板清洗装置，药液供应装置包括：补给配管、补给阀、排液配管、排液阀、药液灌、供应配管、供应阀、支管、灌排液配管、灌排液阀、控制部，并执行如下步骤：第一预排液步骤，在开启所述补给阀和排液阀并关闭供应阀的状态下，通过补...
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