下载基于非接触电磁力加载的超精密主轴工作刚度测量装置及方法的技术资料

文档序号:40467048

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本发明公开了基于非接触电磁力加载的超精密主轴工作刚度测量装置及方法,包括电磁加载模块与位移测量模块,电磁加载模块包括安装于超精密主轴输出端刀柄上的加载棒、轴向加载单元和径向加载单元;位移测量模块包括测量截面A位移的第一位移传感器和第二位移传...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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