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本发明涉及半导体制造加工技术领域，公开了一种基于图像处理的晶圆元器件统计方法，本发明首先采集晶圆图像，通过图像处理获取晶圆单元基准，然后根据晶圆单元基准，获取待测晶圆的偏移以及偏转角度，接着又根据晶圆单元基准，反推出当前待测晶圆中，各晶圆单...
该专利属于成都瑞迪威科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都瑞迪威科技有限公司授权不得商用。

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