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本技术属于硅片生产技术领域的硅片镀膜对位装置。包括治具(1)、托板(5)，治具(1)上设置治具贯穿槽(11)，治具贯穿槽(11)内边设置台阶部(10)，治具(1)下部设置插槽(12)，托板(5)上设置托板贯穿槽(21)，托板(5)上部设置插...
该专利属于安徽熙泰智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽熙泰智能科技有限公司授权不得商用。

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