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本申请提供一种衍射光学元件的设计方法、装置、设备及存储介质。方法包括：获取衍射光学元件的初始入射面相位结构、输入面振幅分布以及输出面理想振幅分布；基于GS算法对入射面相位结构进行迭代运算；在每次迭代运算中，若衍射光学元件输出光斑的不均匀度不...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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