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公开了用于确定投影系统的像差图的相位步进测量系统的衍射光栅。光栅是二维衍射光栅，用作EUV光刻设备中的晶片级光栅。特别地，衍射光栅包括衬底并且是自支撑的，该衬底设置有圆形贯通孔径(51)的二维阵列。在一些实施例中，可以选择圆形孔径的半径与相...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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