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本技术公开了一种磁控溅射方块硅靶材安装结构，包括可拆卸抽拉式安装在磁控溅射腔室内的安装结构以及在磁控溅射腔室内安装口位置设置的密封组件，所述安装结构包括封闭板、安装板、夹持安装组件以及安装板插入的侧板结构，所述安装方孔的左右两侧壁上对称安装...
该专利属于深圳市鼎信表面处理科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市鼎信表面处理科技有限公司授权不得商用。

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