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本技术提供了一种分液装置，属于半导体加工技术领域；包括：机架、分液装置本体以及进液管道；分液装置本体与机架连接且包括一容置腔，至少部分进液管道贯穿分液装置本体进入容置腔；其中，分液装置本体包括一积液槽，积液槽位于分液装置本体底部，进液管道输...
该专利属于浙江晶鸿精密机械制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶鸿精密机械制造有限公司授权不得商用。

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