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一种快速可控制备超细金属纳米晶/纳米碳复合薄膜的方法技术
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下载一种快速可控制备超细金属纳米晶/纳米碳复合薄膜的方法的技术资料
文档序号:40436163
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本发明涉及纳米材料的可控制备领域,具体为一种快速可控制备超细金属纳米晶/纳米碳复合薄膜的方法。采用离子束溅射或磁控溅射等物理沉积方法在纳米碳薄膜上担载金属纳米颗粒,在正压(高于标准大气压0.01~0.2MPa)、含微量氧气(氧气体积分数0....
该专利属于中国科学院金属研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。
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