温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种镀膜设备，镀膜设备包括定位部、供给单元以及驱动部。定位部用于定位样品，供给单元用于对样品供给气体，驱动部用于驱动定位部和/或供给单元运动。供给单元包括第一气体单元、第二气体单元以及隔板，隔板设于第一气体单元与第二气体单元之间...
该专利属于深圳市原速科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市原速科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。