温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于对样品进行微加工的方法和设备。该设备包括样品保持器、用于将聚焦离子束(FIB)投射到样品上的FIB暴露系统、和光学显微镜(LM)的整体组合，其中LM被配置成在FIB暴露期间和/或之后对样品进行成像或监测。该方法包括以下步骤...
该专利属于戴尔米克知识产权私人有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过戴尔米克知识产权私人有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。