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透射X射线检查装置和透射X射线检查方法制造方法及图纸
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文档序号:40430929
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本发明提供透射X射线检查装置和透射X射线检查方法。本发明在透射X射线检查装置中提高试样中的异物的检测灵敏度,透射X射线检查装置具备:X射线源(2),发出包含彼此不同的多个能量范围的X射线;光学元件(3),从X射线分光成一个能量范围的X射线,...
该专利属于株式会社堀场制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社堀场制作所授权不得商用。
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