下载透射X射线检查装置和透射X射线检查方法的技术资料

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本发明提供透射X射线检查装置和透射X射线检查方法。本发明在透射X射线检查装置中提高试样中的异物的检测灵敏度,透射X射线检查装置具备:X射线源(2),发出包含彼此不同的多个能量范围的X射线;光学元件(3),从X射线分光成一个能量范围的X射线,...
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