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本实施方式的热处理装置包括：激光光源(21)，其产生连续振荡的激光(L1)；光学系统(30)，其具有使激光(L1)沿着第1方向扫描的光扫描器(32)，将激光(L1)向基板(100)引导；光学系统驱动部(40)，其使光学系统(30)移动，以使...该专利属于JSW阿克迪纳系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过JSW阿克迪纳系统有限公司授权不得商用。
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