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本发明公开了一种基于铌酸锂薄膜的偏振分束器,包括硅衬底、铌酸锂波导芯层、二氧化硅包层,铌酸锂波导芯层设于二氧化硅包层内部,二氧化硅包层设于硅衬底上;铌酸锂波导芯层包括依次设置的第一波导和第二波导,且第一波导和第二波导之间设有间隙,第二波导上...该专利属于南京南智先进光电集成技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京南智先进光电集成技术研究院有限公司授权不得商用。
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