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本发明公开了一种定位装置,包括:检测组件,检测组件包括:壳体,设置有容纳腔以及与容纳腔连通的第一通孔和第二通孔,第一通孔和第二通孔相对设置,第一通孔用于与芯片对应,第二通孔用于与基板对应;第一光源,设置于容纳腔中,第一光源的光线用于照射芯片...该专利属于深圳市联微半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市联微半导体设备有限公司授权不得商用。
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