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本发明公开了一种镀膜方法、装置以及系统，涉及太阳能电池片镀膜技术领域。以提供一种降低炉口位置底层膜厚，进而提升太阳能电池片转换效率的技术方案。所述镀膜方法包括以下步骤：依次按照至少两种加热方式对所述PECVD镀膜设备的炉口进行加热，以在太阳...
该专利属于西安隆基乐叶光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安隆基乐叶光伏科技有限公司授权不得商用。

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