下载用于处理半导体晶片存储盒的系统、组合和传送方法的技术资料

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一种用于处理半导体晶片存储盒的系统,包括:配置成处理半导体晶片存储盒的立式分批炉组件,该立式分批炉组件包括配置成处理来自盒的晶片的立式分批炉;布置在立式分批炉组件处的底板组件,该底板组件包括布置在底板组件的顶面下方的二维电磁体阵列,该阵列沿...
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