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本发明公开了一种薄膜体声波器件与片上无源器件单片集成结构，包括衬底，衬底内设有空腔；压电震荡堆位于衬底上，压电震荡堆包括第一电极，第一电极位于衬底上，且覆盖空腔；压电层和电容介质层分别位于第一电极上；第二电极分别位于压电层和电容介质层上；保...
该专利属于杭州树芯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州树芯电子科技有限公司授权不得商用。

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