下载一种氧化镓晶体生长用铱金坩埚的清理方法的技术资料

文档序号:40426748

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本发明属于晶体生长技术领域,涉及一种氧化镓晶体生长用铱金坩埚的清理方法,包括以下步骤:将装有β‑Ga<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;晶体废料的铱金坩埚置于气氛炉中抽真空,通入氢气,气...
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