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本发明属于晶圆检测技术领域，公开了一种晶圆检测用图像摄取装置及晶圆检测方法。该晶圆检测用图像摄取装置包括支撑机构、转动机构、摄像机构和调节机构。支撑机构包括底座和支撑架；承载台与底座之间通过转动机构连接，承载台能够通过转动机构绕自身轴线转动...
该专利属于宁波芯丰精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波芯丰精密科技有限公司授权不得商用。

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