下载单晶炉加热结构、单晶炉和单晶炉的加热方法的技术资料

文档序号:40426139

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本发明涉及一种单晶炉加热结构,包括:环绕坩埚设置的加热结构,所述加热结构包括沿所述坩埚的周向方向均匀设置的多个加热单元;多个开关单元,每个所述开关单元被配置为控制至少一个所述加热单元打开或关闭。本发明还涉及一种单晶炉和单晶炉的加热方法。本发...
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