下载一种用于超高真空环境下正弦机构标定装置及方法的技术资料

文档序号:4042586

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本发明的一种用于超高真空环境下正弦机构标定装置及方法涉及正弦机构标定领域,包括高精度光电自准直仪、自准直仪支架、多面体角棱镜、棱镜架、正弦机构、真空镜箱和支撑平台,高精度光电自准直仪装在自准直仪支架上,其发光孔对准真空镜箱上的观察窗,真空镜...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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