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本发明实施例涉及形成包含竖直相对的电容器对的阵列的方法及包括竖直相对的电容器对的阵列。所述方法，其包含：在具绝缘性的材料中的个别电容器开口中形成向上敞开的导电内衬。移除导电内衬中的个别者的竖向中间部分以在个别电容器开口中形成彼此竖向分离及间...
该专利属于美光科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美光科技公司授权不得商用。

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