下载一种逆导型IGBT器件及其制备方法的技术资料

文档序号:40424741

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本发明公开了一种逆导型IGBT器件及其制备方法,包括:衬底漂移区;位于所述衬底漂移区上方的元胞区和FRD的阳极区,所述FRD的阳极区位于所述元胞区的栅槽的延长线上;与所述元胞区相邻的第一终端区;与所述FRD的阳极区相邻的第二终端区;位于所述...
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