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载体清洗装置制造方法及图纸
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文档序号:40424293
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本发明涉及一种载体清洗装置,包括:载体罩清洗部,具载体罩腔体,其内部具有空间,上部开放,容置载体罩;第一转动单元,其设于所述载体罩腔体的上部,转动所述载体罩;第一推拉单元,其上下移动;第一喷嘴,其设于所述载体罩腔体的内部,向所述载体罩喷射清...
该专利属于(株)爱斯缇亿所有,仅供学习研究参考,未经过(株)爱斯缇亿授权不得商用。
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