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本发明公开真空炉搬运机构，包括马达C和马达D，马达C和马达D设有和其相对应的马达A和马达B，马达C处设有进料圆筒，马达C通过齿轮带动链条转动，链条和钢丝固定，马达A和马达C处之间设有加热区和降温区，加热区包括真空区，加热板和降温区设有向下的...
该专利属于芯朋半导体科技（如东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯朋半导体科技（如东）有限公司授权不得商用。

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