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本发明公开了一种半导体晶圆检测设备控制工作站的管理方法及系统，对目标半导体晶圆产品数据进行检测任务分析，得到产品检测需求数据；基于产品检测需求数据与工作站设备信息进行多种检测设备的联合任务需求分析，并形成工作站检测方案；基于工作站检测方案对...
该专利属于深圳市华拓半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华拓半导体技术有限公司授权不得商用。

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