下载一种半导体立式熔接炉的技术资料

文档序号:40423792

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本发明公开了一种半导体立式熔接炉,包括外保温炉体,外保温炉体通过升降机构连接立板架,内加热炉体设置在外保温炉体内,其中,内加热炉体和外保温炉体之间围成密闭加热工作的炉腔,在围成的炉腔内自上至下依次设置有上部控温区、中部控温区和下部控温区,上...
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