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本发明公开了一种防硅片氧化的药液清洗装置，包括操作主体，操作主体包括底座，底座通过设置在其顶部的支架转动连接有转轴，转轴圆周外表面固定连接有超声波清洗箱；超声波清洗箱内设有放置部，放置部包括支撑块，支撑块底部与超声波清洗箱内壁底部固定连接，...
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