温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种微影成像投影镜头，适用于光阻特征成像的单位放大透镜系统，具有多个透镜元件及置于其中的一光栏，其沿着一光轴排列，且包含分置于该多个透镜元件前、后两端的一像侧与一物侧；其中：分别靠近该物侧与该像侧的两个透镜，其屈亮度皆须为正；各该透镜元件皆...
该专利属于上旸光学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上旸光学股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。