温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种电子级气体纯化方法及其纯化装置，其中该纯化装置内部具有多个中空纤维管体，用以将一尚未纯化电子级气体进行气体纯化并向外排出，而于未运作气体纯化的纯化装置，能够将已纯化电子级气体通过该未运作气体纯化的纯化装置，以使该纯化装置内部的微尘被排出...
该专利属于芯动能设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯动能设备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。