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本发明涉及一种温控系统及其控制方法，涉及半导体温控设备领域。本发明提出的一种温控系统，包括制冷系统和循环系统；负载流出的载冷剂进入气水换热装置内被制冷剂进行预冷，预冷后的载冷剂又通入蒸发器内被制冷剂进行再冷，再冷后的载冷剂通过加热器进行温度...
该专利属于上海盛剑半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海盛剑半导体科技有限公司授权不得商用。

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