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本申请涉及太阳能电池技术领域，特别是涉及太阳能电池及其制作方法、光伏组件及光伏系统。在本申请实施例中，通过在透明导电层上形成保护层，再进行等离子体处理，使得透明导电层的目标区域的粗糙度达到目标粗糙度，进而能够改善等离子体对基底、本征半导体层...
该专利属于天合光能股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天合光能股份有限公司授权不得商用。

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