下载一种晶圆对准校验检测方法的技术资料

文档序号:40417695

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本发明涉及晶圆对准技术领域,且公开了一种晶圆对准校验检测方法,包括以下步骤:S1:准备晶圆,准备第一晶圆和第二晶圆,并在第一晶圆和第二晶圆上分别设有5‑10个对应的定位标记;S2:放置晶圆,将S1中的第一晶圆和第二晶圆移动至键合位置,且两片...
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