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本发明公开了一种基于反射式斜向摩尔条纹位移检测的微机械陀螺及其实现方法，属于光学检测领域。该机构由结构层和基底构成。结构层上的敏感移动梳齿和基底上的敏感固定梳齿构成一组测量光栅对，在光源照射下，产生几何干涉，形成莫尔条纹。敏感移动梳齿在科氏...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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