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一种特别适于测量含氢流体的压力传感器制造技术
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文档序号:40412418
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本申请提供了一种压力传感器,其包括:金属基体,其内部形成压力腔,压力腔的下端设有用于接收含氢流体的开口且其上端封闭有一弹性隔膜,压力腔的内表面的全部或部分覆盖有用于抑制氢原子向金属基体中扩散的隔离层;设置于金属基体上侧的塑料接插件;上下连接...
该专利属于武汉飞恩微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉飞恩微电子有限公司授权不得商用。
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