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本发明公开了一种半导体真空检测设备以及方法，该检测设备包括：氦质谱检漏仪，接收被检工件内的检测气体，并确定被检工件的漏气区域；真空机组，用于将被检工件内部抽真空处理，所述真空机组由至少两个真空泵并联连接在被检工件上，通过并行设计，能够根据需...
该专利属于无锡斯培尔真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡斯培尔真空科技有限公司授权不得商用。

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