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本技术涉及太阳能电池制造设备技术领域，公开一种改善ALD氧化铝绕镀改善铝舟装置，包括两侧板，所述侧槽棒的一端通过回弹件与其中一所述侧板连接，所述侧槽棒通过所述回弹件沿所述侧槽棒轴线方向移动，以使得所述侧槽棒在第一工况和第二工况之间切换，所述...
该专利属于一道新能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过一道新能源科技股份有限公司授权不得商用。

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