一种改善ALD氧化铝绕镀改善铝舟装置制造方法及图纸

本技术涉及太阳能电池制造设备技术领域，公开一种改善ALD氧化铝绕镀改善铝舟装置，包括两侧板，所述侧槽棒的一端通过回弹件与其中一所述侧板连接，所述侧槽棒通过所述回弹件沿所述侧槽棒轴线方向移动，以使得所述侧槽棒在第一工况和第二工况之间切换，所述第一工况时，所述上槽棒、侧槽棒和所述下槽棒上的齿槽分别一一对应设置，所述硅片侧面为平面；所述第二工况时，所述侧槽棒上的齿槽相对于所述上槽棒和所述下槽棒上的齿槽平移，所述硅片侧面为曲面。本技术可实现使硅片弯曲以致两张同槽硅片贴合更紧，保证绕度厚度以及面积，提高优品率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制造设备，特别是涉及一种改善ald氧化铝绕镀改善铝舟装置。

技术介绍

1、管式ald氧化铝技术已经成为光伏电池perc/topcon技术路径中一项重要工艺。由于硅片在电池片制造过程中，在背面、正面需要使用ald技术在表面沉积一层氧化铝才能达到理想的钝化效果，在管式ald技术中，硅片需竖插在铝舟中槽内进行工艺。但鉴于是ald技术，在两张硅片背靠背插在一个槽内，不可避免的会导致另外一面长不定厚度/不定区域面积的氧化铝(俗称绕度，后文统一用绕度描述)，绕度对后端的丝网烧结温度、浆料的匹配增加难度，同时会导致产品的不良风险增加。使用特定的设计，让两张背靠背硅片贴的更近能有效缓解绕度厚度以及面积，为使两张背靠背硅片更贴紧，在铝舟中设计一种带有回弹设置装置，包括不限于弹簧、气缸方式达到回弹目的。故铝舟回弹位置的设计以及回弹的行程至关重要，回弹的位置偏低/偏高，会导致一边贴紧，一边松散，即一边绕度严重，一边轻微，加重绕度风险；回弹的行程过短，会导致起不到使两张硅片贴紧作用，行程过长，会导致硅片出现划伤、隐裂、碎片风险，最终还是会影响产品的优品率。...

【技术保护点】

1.一种改善ALD氧化铝绕镀改善铝舟装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种改善ALD氧化铝绕镀改善铝舟装置，其特征在于：其中一所述侧板(1)上开设有侧孔，所述侧孔内设置有弹性件，所述弹性件与所述侧槽棒(3)的一端相抵，另一所述侧板(1)上开设有限位槽，所述限位槽槽底开设有伸出孔，所述侧槽棒(3)的另一端插入到所述限位槽内，所述侧槽棒(3)端面固接有伸出块(5)，所述伸出块(5)贯穿所述伸出孔，且所述侧槽棒(3)外壁与所述限位槽内壁滑动接触；

3.根据权利要求2所述的一种改善ALD氧化铝绕镀改善铝舟装置，其特征在于，所述回弹件包括：

4....

【技术特征摘要】

1.一种改善ald氧化铝绕镀改善铝舟装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种改善ald氧化铝绕镀改善铝舟装置，其特征在于：其中一所述侧板(1)上开设有侧孔，所述侧孔内设置有弹性件，所述弹性件与所述侧槽棒(3)的一端相抵，另一所述侧板(1)上开设有限位槽，所述限位槽槽底开设有伸出孔，所述侧槽棒(3)的另一端插入到所述限位槽内，所述侧槽棒(3)端面固接有伸出块(5)，所述伸出块(5)贯穿所述伸出孔，且所述侧槽棒(3)外壁与所述限位槽内壁滑动接触；

3.根据权利要求2所述的一种改善ald氧化铝绕镀改善铝舟装置，其特征在于，所述回弹件包括：

4.根据权利要求2所述的一种改善ald氧化铝绕...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑作锋，张麟，赵鹏春，赵兴春，张麒，吴姜凯，周锦凤，
申请(专利权)人：一道新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：